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1光刻胶rie之后错误的用Ar打，重新用氧气打，在用丙酮异丙醇清洗，很不干净，重复3次，最后表面依旧有
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1求问各位大神，硅片减薄到80um之后，翘曲明显，想要用UV胶带固定压平就把片子弄碎，没法匀胶和光刻（都要吸真空）。请问减薄之后晶圆要怎么弄平？怎么搬运？怎么匀胶和光刻？ （已经弄碎了四五块片子了，暴风哭泣！）
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1各位，本人建此吧想为各位从事微纳加工的兄弟姐妹提供一个交流的平台 。欢迎各个科研院所高校以及公司的朋友前来交流，工作、情感、学习均可以。 微纳
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0为什么人这么少，作为新手要向大家多多学习呀！赶紧把队伍壮大起来，大家多多交流
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0有关所有微纳加工的问题，可以在本吧提出，本人以及各位吧友会积极回答。还有官方的论坛 www.snff.cn 提供咨询。谢谢
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0亲爱的各位吧友：欢迎来到微纳加工之家
