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2025-02-08
白光干涉仪的膜厚测量模式原理3d扫描仪吧
白光干涉仪的膜厚测量模式原理主要基于光的干涉原理，通过测量反射光波的相位差或干涉...
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2025-02-08
应力消除外延生长装置及外延生长方法3d扫描仪吧
引言 在半导体材料领域，碳化硅（SiC）因其出色的物理和化学特性，如高硬度、高热导率...
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2025-02-07
白光干涉仪的光谱干涉模式原理光学测量吧
白光干涉仪的光谱干涉模式原理主要基于光的干涉和光谱分析。以下是对该原理的详细解释...
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2025-02-07
碳化硅外延晶片硅面贴膜后的清洗方法晶圆吧
引言 碳化硅（SiC）外延晶片因其卓越的物理和化学特性，在功率电子、高频通信、高温传...
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2025-02-06
碳化硅晶片表面金属残留的清洗方法半导体吧
引言 碳化硅（SiC）作为一种宽禁带半导体材料，因其出色的物理和化学性质，在电力电子...
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2025-02-06
白光干涉仪中的VSI和PSI以及VXI模式的区别白光干涉仪吧
白光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，它利用白光干涉原理来测量物体表面的形貌和高...
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2025-01-23
碳化硅衬底的特氟龙夹具相比其他吸附方案，对于测量...半导体吧
一、引言 随着碳化硅在半导体等领域的广泛应用，对其衬底质量的检测愈发关键。BOW（翘...
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2025-01-22
白光干涉为什么对于环境防振要求那么高白光干涉仪吧
白光干涉对于环境防振要求高的原因，主要可以从其测量原理和应用需求两个方面来解释。...
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2025-01-22
测量探头的 “温漂” 问题，都是怎么产生的，以及对于...碳化硅吧
在半导体产业这片高精尖的领域中，氮化镓（GaN）衬底作为新一代芯片制造的核心支撑材...
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2025-01-21
为什么说白光干涉的扫描高度受限白光干涉仪吧
白光干涉的扫描高度受限，主要是由于其测量原理和技术特点所决定的。以下是对这一问题...
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2025-01-21
特氟龙夹具的晶圆夹持方式，相比真空吸附方式，对测...碳化硅吧
在半导体制造领域，晶圆作为芯片的基础母材，其质量把控的关键环节之一便是对 BOW（弯...
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2025-01-20
通过电光晶体的电光效应，实现白光干涉中的电光调制...白光干涉仪吧
通过电光晶体的电光效应，实现白光干涉中的电光调制相移原理，是一个基于物理光学和电...
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2025-01-20
测量探头的 “温漂” 问题，对于氮化镓衬底厚度测量的...碳化硅吧
在半导体制造这一微观且精密的领域里，氮化镓（GaN）衬底作为高端芯片的关键基石，正...
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2025-01-17
通过声光介质的声光效应，实现白光干涉中的声光调制...光学吧
通过声光介质的声光效应，实现白光干涉中的声光调制相移原理，是一个涉及光学和声学交...
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2025-01-17
不同的氮化镓衬底的吸附方案，对测量氮化镓衬底 BOW...半导体吧
在当今高速发展的半导体产业浪潮中，氮化镓（GaN）衬底宛如一颗耀眼的新星，凭借其卓...
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2025-01-16
氮化镓衬底的环吸方案相比其他吸附方案，对于测量氮...碳化硅吧
在半导体领域的璀璨星河中，氮化镓（GaN）衬底正凭借其优异的性能，如高电子迁移率、...
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2025-01-16
通过改变光的偏振态，从而实现白光干涉中的光学相移...白光干涉仪吧
通过改变光的偏振态，从而实现白光干涉中的光学相移原理，是一个涉及光学原理和技术的...
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2025-01-15
基于光偏振与光学调制实现白光干涉相移白光干涉仪吧
基于光的偏振特性和一些光学元件对光的调制作用，实现白光干涉中的光学相移原理是一个...
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2025-01-15
测量探头的 “温漂” 问题，都是怎么产生的，以及对于...光学吧
在半导体制造这一高精尖领域，碳化硅衬底作为支撑新一代芯片性能飞跃的关键基础材料，...
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2025-01-14
测量探头的 “温漂” 问题，对于碳化硅衬底厚度测量的...半导体吧
在半导体制造的微观世界里，碳化硅衬底作为新一代芯片的关键基石，其厚度测量的精准性...
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