1.首先要把光学扫描振镜安装固定好，扫描振镜的安装、Y扫描振镜为垂直安放，X扫描振镜水平安放，安装时可从扫描头部左右侧边孔观察，使X、Y镜片位置正交，镜片镀膜面朝向来光方向；在两侧观察孔目测，Y振镜镜片和X振镜镜片中心对准，即高度一致，水平对中。
2.其次要把红光二极管激光器固定好，然后接通电源把红光调至最佳状态（此时不能安装扩束镜和场镜）。调整光具座使红光的光点通过前面板上的激光输出孔的中心，直接打在Y轴振镜的中心，在振镜两侧观察孔目测，红点应该在Y振镜镜片和X振镜镜片中心。 3.旋转Y振镜X振镜，并保持轴向不移动；使红光打在振镜或工作台正下方，固定紧振镜。
4.安装（聚光腔）或半导体侧泵模块时，要让红光从Nd:YAG晶体棒两端均居棒套中心，即激光棒中心，此步最重要；达到同光路目的，并为准直其他元件提供光源。
5.安装全反镜、输出镜、扩束镜、声光Q开关、同样要中心进中心出，并且全反镜、输出镜的镀膜面朝向聚光腔，红光或激光必须要垂直的打在镜片上。
6.按照光学反射原理，红光照射在全反镜上，必有一反射光点，调节全反镜的俯仰、侧转旋钮，使反射光点沿原路返回，在二极管激光输出端上与输出光点相重合。
7.调节Q开关的俯仰、侧转旋钮，使反射点与二极管激光器（红光）输出光点相重合。
8.调节输出镜的俯仰、侧转旋钮，使反射点与二极管激光器（红光）输出光点相重合。
9.最后检查一下从输出镜出来的红光是否重合，如不是，则重新把它调为一点。这时激光机的光路基本调试完了。
10.下一步调试激光，把制冷机同上电源式冷却水正常循环。
11.给激光器电源、声光Q驱动器、高速扫描振镜电源接通电源使之正常运转（按操作规程使用设备）。
12.在调试激光时一定要关闭声光Q驱动电源或把调制档打到外调制后再调试，否则会没有激光输出。
13.这时可以把倍频片（激光探测片）放在输出镜后观察，这时应有激光输出（若无、可略加大电流）。
14.在调节全反镜的俯仰、侧转旋钮，使激光输出光点更佳（大而亮）。
15.细调完毕，激光器调试结束，可进入后光路系统（扩束镜、扫描镜、平场扫描镜）调试。
16.光扩束镜，输出镜后安装有4倍光扩束器，其作用是减小光束发散角，提高激光光束质量，使在工件上刻写的激光功率密度更高，刻线宽度更细。调整要求：调节扩束镜的紧固螺母及俯仰、侧转旋钮，使光束从中心通过（中心进中心出），并到达扫描头部入射孔中心。
17.平场扫描透镜，激光束通过扩束器后，经X-Y扫描镜反射到达平场扫描透镜，透镜的安装由下而上旋入，其上端面与振镜间距符合技术要求。
18.分别调整光点在四角的强度，要求均匀一致，如不均匀则调整扩束镜使之均匀。