微波真空干燥设备干燥属于联合干燥的一种，是将微波加热干燥和真空干燥两种机理相结合的加热干燥方式。传统的真空干燥机采用传导式的循环导热油或热水作为热源，在真空低压下（-0.09MPa）水的沸点降低到68度急速挥发由真空泵抽离物料，由于是低温隔氧下的干燥，优点是物料在真空环境下低温干燥营养流失小，色泽及风味保留好、氧化程度低主要应用于含挥发性低温食品和药品的干燥。
传统的真空干燥设备的缺点是传导式加热时间长，间歇式生产速度慢造成产量较低，一般适用于物料产量不大、附加值较高的食品或药品，而微波真空干燥设备将微波的能量直接作用于物料内的水分，避免了传导加热中的热损失和提前预热，微波加热时物料内部温度高于表面温度，微波场强加热均匀度高、被加热干燥物料的温度梯度和水分迁移都是由内而外，加上真空环境下的水汽带离排湿效果快。所以微波真空干燥设备干燥速度比传统的真空干燥或传统的微波干燥快3-5倍。尤其在中药浸膏及挥发性低温烘干食品上的应用很多，微波真空干燥的产品可与冻干设备产品相媲美。能耗只有冻干设备能耗的1/4。近几年微波真空干燥在木材干燥上的应用开始广泛，因较厚的木材需要低温缓慢干燥否则易变形或内外水分不均匀爆裂。随着对国内外各类木材在不用地区的特性、含水量和干燥机理在摸索中慢慢增多，数据及经验掌握越来越多。微波真空干燥设备在木材类的低温加热干燥上走入一个新的领域。