催化燃烧法适合于处理气量大、浓度小的VOCs污染气体，因其操作温度比直接法低很多（一般在300-500℃，且无火焰），故又称为低温催化燃烧。低温催化燃烧核心部件为催化剂，所用的催化剂按金属种类可分为：贵金属催化剂（铂、钯、金、铱等）。
低温催化燃烧贵金属催化剂的活性与活性组分贵金属有关，一般通常与贵金属组成及含量有关，催化剂活性与活性组分含量成正比，活性通常可以用废气转化率或空速、起燃温度等描述，若要选择活性高的催化剂，其贵金属含量必然要高些，价格自然也就更高。如选择0.05%活性组分含量的催化剂，其活性只能保证在300℃废气操作温度下、空速不超过10000h-1,废气转化率最高为90%。