适合的应用:
粉末表面处理
产品特点:
微波功率0~1000W连续可调, 带有微波输出功率显示(精确至1W);
等离子体反应室为内径ф40mm的石英管真空室,顶部观察窗和正与左侧面的观察网孔方便进行各种实验观察;
样品台位置可调节,并方便拆卸;装卸区直径ф40mm,并可选配石英基片台与石墨基片台;样品台为微波等离子体自加热,温度自室温至1200℃;样品台升降架精巧豪华,方便调谐和样品取放;
配备冷却水循环系统,无水源要求,确保装置高功率下长时间安全稳定运行;
2-4路气体输入,在等离子体发生室顶部中心输入工作气体;
真空度显示(精确至1Pa);真空泵排气口接有油雾过滤器,保护环境;可按用户需求配备涡轮分子泵与扩散泵;
无电极放电,避免了电极污染;能量转换效率高;等离子体活性强、密度高。
粉末表面处理
产品特点:
微波功率0~1000W连续可调, 带有微波输出功率显示(精确至1W);
等离子体反应室为内径ф40mm的石英管真空室,顶部观察窗和正与左侧面的观察网孔方便进行各种实验观察;
样品台位置可调节,并方便拆卸;装卸区直径ф40mm,并可选配石英基片台与石墨基片台;样品台为微波等离子体自加热,温度自室温至1200℃;样品台升降架精巧豪华,方便调谐和样品取放;
配备冷却水循环系统,无水源要求,确保装置高功率下长时间安全稳定运行;
2-4路气体输入,在等离子体发生室顶部中心输入工作气体;
真空度显示(精确至1Pa);真空泵排气口接有油雾过滤器,保护环境;可按用户需求配备涡轮分子泵与扩散泵;
无电极放电,避免了电极污染;能量转换效率高;等离子体活性强、密度高。