微纳研究与制造中心是中国科学技术大学”十二五”规划重点建设工程之一，是秉承我校“集中投入、统一管理、开放公用、资源共享”宗旨的第六个公共实验中心。
微纳研究与制造中心的建设旨在促进基于纳米科学及纳米工程的能源、信息、材料、医疗、环境等领域多学科交叉研究的发展，通过持续建设，逐步建立起条件优良、功能配套、管理规范、先进高效的优质资源公用系统和共享机制，建设适应于当前及未来纳米科学及纳米工程领域研究发展所需要的基础支撑体系，成为具有国际先进水平的、面向国内外开放的高水平微纳米科学研究和制造的公共技术平台。
中心详情介绍请点击：http://nano.ustc.edu.cn/index.php?m=content&c=index&a=show&catid=41&id=1
中心安装有电子束光刻系统（EBL）、电子离子双束系统（FIB）等从图形发生、转移到沉积刻蚀、封装测试等一整套工艺设备以及配有能谱功能的冷场电镜（cold FESEM）、散射式扫描近场光学显微镜（s-SNOM）、原子力显微镜（AFM）等表征测试设备，并会根据科研要求需要持续更新设备。
设备列表及介绍：http://nano.ustc.edu.cn/index.php?m=content&c=index&a=lists&catid=8
中心现开放对外校课题组和有相应研发需求的企业开放，已对不少友校及科研院所课题组进行了工艺加工服务，更有地方扶持的高新企业及上市企业在我中心进行相关产品研发及更新迭代。对外服务方面，中心团队已经积累了丰富的经验，并建立了完备的体系流程。
同时，中心的工艺设备团队有一半工程师具有博士学历且具有国外知名高校微纳相关工作学习经历，亦有相当比例的工程师在业内知名微电子半导体企业工作经历，经验丰富，相互配合默契。
如果您的课题项目需要制作微纳结构或相关的工艺需求
如果您的产品研发有微纳加工的需求而暂时无法投入大量研发设备
如果您有微电子相关领域创新创业想法苦于无法设计研发制作
那么，欢迎联系
吴硕
邮箱：swu@ustc.edu.cn
微纳研究与制造中心的建设旨在促进基于纳米科学及纳米工程的能源、信息、材料、医疗、环境等领域多学科交叉研究的发展，通过持续建设，逐步建立起条件优良、功能配套、管理规范、先进高效的优质资源公用系统和共享机制，建设适应于当前及未来纳米科学及纳米工程领域研究发展所需要的基础支撑体系，成为具有国际先进水平的、面向国内外开放的高水平微纳米科学研究和制造的公共技术平台。
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中心安装有电子束光刻系统（EBL）、电子离子双束系统（FIB）等从图形发生、转移到沉积刻蚀、封装测试等一整套工艺设备以及配有能谱功能的冷场电镜（cold FESEM）、散射式扫描近场光学显微镜（s-SNOM）、原子力显微镜（AFM）等表征测试设备，并会根据科研要求需要持续更新设备。
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中心现开放对外校课题组和有相应研发需求的企业开放，已对不少友校及科研院所课题组进行了工艺加工服务，更有地方扶持的高新企业及上市企业在我中心进行相关产品研发及更新迭代。对外服务方面，中心团队已经积累了丰富的经验，并建立了完备的体系流程。
同时，中心的工艺设备团队有一半工程师具有博士学历且具有国外知名高校微纳相关工作学习经历，亦有相当比例的工程师在业内知名微电子半导体企业工作经历，经验丰富，相互配合默契。
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