目前制备电子工业超纯水设备的工艺基本上是三种，现将他们的优缺点分别列于下面：
　　第一种采用传统的离子交换树脂其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
　　第二种采用反渗透+离子交换设备，其特点为初次投资比采用离子交换树脂方式要稍高，但离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。是目前比较经济与流行的一种工艺。
　　第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水最先进，最环保的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资相对以上两种方式过于昂贵。

目前制备电子工业超纯水设备的工艺基本上是三种，但是各种的优缺点不一，选择的时候还是要根绝自己本身的情况来选择。