金刚石材料具有硬度高、摩擦系数小、导热性高、热膨胀系数小和化学惰性高等优异性能，是制造切削刀具的理想材料。对金刚石刀具质量的评定，首先是要能加工出高质量的超光滑表面，其次是要求刀具能长时间保持切削刃的锋利 ，即具有较长的工作寿命。
普通切削时，刀具切削部分主要包括刀面、主切削刃、副切削刃和刀尖几何形状等部分。而在超精密切削时，材料去除量极小(一般在微米量级以下)，切削时是刀具的刀尖部分与工件相互作用，此时刀具切削部分是指实际参加切削的刀尖几何形状部分。
目前单晶金刚石刀具在超精密切削中使用广泛，所用的单晶金刚石刀具的刀尖几何形状常做成直线切削刃和圆弧切削刃两种形式。在超精密切削条件下，直线切削刃的长度、圆弧切削刃的刀尖圆弧半径以及切削刃的锋利程度都对加工中的物理现象有很大影响。