金属部件的失效会影响整个系统的正常运行，蔡司显微镜甚至于让整个系统崩溃进而带来意想不到的事故。了解失效产生的机理和原因，蔡司显微镜对控制和掌握零部件的失效有着举足轻重的意义。充分地发掘失效分析的工具和方法有助于深入的了解失效的原理和原因。
一般来说，失效分析的步骤主要有材料的强度验证、材料的成分确认、蔡司显微镜显微硬度的测量、材料的金相分析、断口显微分析、断口析出物分析等等，其中金相分析、断口显微分析都需要使用到显微镜，一台蔡司扫描电子显微镜搭配一台蔡司光学显微镜的解决方案，能够让您完成失效分析中对材料各种微观信息的收集，从而对您解决问题提供帮助。
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扫描电子显微镜相比于光学显微镜特有的三种成像方式为：高倍表面形貌、蔡司显微镜相组织衬度以及元素成份分布。高倍表面形貌具有分辨率高，景深大等特点，蔡司显微镜尤其适合观察断口的微观形貌特征，来区分断口的断裂模式是韧性断裂还是脆性断裂，而相组织衬度则尤其适合于查找金属中非金属夹杂物，蔡司显微镜再辅助于能谱的分析结果来判断其为何种材料。