1200目碳化硅粉：目前在国际国内市场上，相比N型碳化硅衬底，高纯半绝缘碳化硅衬底有着更高的商业价值和销售市场。同时，由于对氮含量的严格要求，高纯半绝缘碳化硅衬底的技术难度之一就是如何降低碳化硅晶体中的氮含量。而碳化硅单晶中氮含量的多少受其长晶所使用的碳化硅粉影响，因此，如何降低碳化硅粉中的氮含量成为了高纯碳化硅粉生产的技术点之一。高纯碳化硅粉通过采用高纯惰性气体在不同温度和不同压力下抽真空清洗，然后进行高温合成，最终获得低氮含量的高纯碳化硅粉。
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