Probe
产品概要
支持SiC/GaN晶圆测试，大功率晶圆测试； 更换Chuck设计，可针对不同晶圆测试； 可与仪器仪表系统进行集成； 可升级高低温测试环境测试
基本信息
产品型号 A12 工作环境 开放式
电力需求 220VAC±10V/50Hz/2.2KW 操控方式 全自动
产品尺寸 1660 x 1770 x 1015 mm ; 1660 x 1700 x 1455 mm 设备重量 1700kg
应用方向
晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等
技术特点
产品特点
●超高的测试精度与测试速度，大大提升产能效益
●全自动化系统运行，快速安全可靠测试
●支持单点测试和连续测试
●综合控制系统，快速接入仪器测试
●CHUCK高效测试系统，运行速度超300mm/s
●丰富的软件自动化测试 ，机械精度精确校准
●可升级自动wafer厚度测量和ID读卡，
●领先的内部防震系统装置，运行更稳定
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