BDS-MF 5-10-15 kW @ 40kHz高-低电压交流等离子体发生器
适用于任何高/低压（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD 工艺的最新且最具价格竞争力的中频发生器
BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高|低电压交流等离子体发生器
BDS-MF 是一款 40 kHz 等离子体发生器，最大功率为 5、10 或 15 kW，专为 PECVD 或等离子体清洁应用中的等离子体激发而设计。该装置能够在 7000V RMS 输出下提供高达 10kW 的功率。
输出为平衡型，可驱动2个对称电极。典型应用是大型工艺室的 PE-CVD 工艺。一个独特的功能是内置 2 个（标准）或 3 个（根据要求）变压器抽头的高压匹配变压器可用作阻抗匹配。
用户只需将两根同轴电缆连接到电极上。与用户 PLC 的接口可以是模拟或数字 RS232 或 Profibus（根据要求）。
亮点和好处：
内置输出匹配变压器，无需外接盒。
风冷机组。没有与潮湿或漏水相关的风险。
全功率，环境温度高达 40C°。
模拟接口。
可根据要求提供 Profibus 接口。
前面板显示屏使安装和故障排除更容易。
高效率>90%。
结构紧凑轻便，仅重 20kg，4UI。
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