RTO废气处理的工艺流程：
把有机废气加热升温至800℃，使废气中的VOC氧化分解，成为无害的CO2和H2O；氧化时的高温气体的热量被蓄热体“贮存”起来，用于预热新进入的有机废气，从而节省升温所需要的燃料消耗，降低运行成本。
1、有机废气经高压引风机进入蓄热室1的保留了上一循环热量的陶瓷介质层后，陶瓷释放热量，温度降低，而有机废气吸收热量，温度升高。废气离开蓄热室后，以较高的温度进入燃烧室，准备进行氧化。
2、在燃烧室中，有机废气再由燃烧器加热燃烧，加热升温至设定的氧化温度，此时温度为设定的800℃，使有机物被分解成二氧化碳和水。由于废气已在蓄热室1内进行过预热，燃烧器的燃料用量大为减少。

3、废气流经蓄热室1升温后进入氧化室焚烧，成为净化后的高温气体后离开氧化室，进入在上一循环已冷却的蓄热室2。在此气体释放热量，降温后排出，而蓄热室2吸收大量热量后升温，其吸收的热量用于下一个循环加热废气。在此同时，废气引风机经由反吹风管，从蓄热室3抽出少许前一循环残留在其中的微量有机气体，回送至废气风机进口处，再送入燃烧室中进行焚烧，此部分气体同处理后气体一起离开蓄热室2，经热回收设备排入大气。
4、在燃烧室中，有机废气再由燃烧器加热燃烧，加热升温至设定的氧化温度，此时温度同样为设定的800℃，使有机物被分解成二氧化碳和水。由蓄热室3排出。
5、在此同时，由废气引风机抽出少许前一循环残留在蓄热室1中的微量有机气体，再送至燃烧室中进行焚烧，此部分气体同处理后气体一起离开蓄热室3，经热回收设备排入大气。如此交替循环。

RTO废气处理设备是目前处理效果较为不错、性能稳定、技术成熟的一款废气处理设备。