DS9260是一款12英寸全自动精密划片机。
该机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。
该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,
大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。
实现定位精度2微米,转角精度0.0005°,打破国外的垄断,为我国芯片行业发展贡献和研力量!
该机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。
该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,
大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。
实现定位精度2微米,转角精度0.0005°,打破国外的垄断,为我国芯片行业发展贡献和研力量!