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磁控溅射属于原子沉积还是离子沉积
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该楼层疑似违规已被系统折叠
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看这个图上面,显示的是目标原子沉积到了基底上面了。我想知道的有这么几点,第一目标原子是怎么到基底上面的?第二沉积到基底上面的除了原子是不是还有靶材上面的离子?
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IP属地:广东
1楼
2022-06-06 17:22
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