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磁控溅射属于原子沉积还是离子沉积

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看这个图上面，显示的是目标原子沉积到了基底上面了。我想知道的有这么几点，第一目标原子是怎么到基底上面的？第二沉积到基底上面的除了原子是不是还有靶材上面的离子？
IP属地:广东1楼2022-06-06 17:22回复

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