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集成电路超纯水系统清洗消毒方法分析

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半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
半导体超纯水设备制备工艺
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥17MΩ.CM)(新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥15MΩ.CM)(新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)
水质标准
半导体超纯水设备,超纯水设备,超纯水处理设备出水水质符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。
超纯水水质标准
在高纯水制取过程中除去的离子成份、胶体物质、溶存气体、微粒子及微生物中,微生物(即纯水中的细菌类)是纯水中会增值的杂质,有藻类、线状菌、酵母、放线菌、细菌 类等。
高纯水中细菌的繁殖不仅导致半导体制品成品率的下降,同时也给高纯水制取的运行管理带来很大的困难。接触空气、未经杀菌的进水、药剂、器皿等都会使细菌进入纯水系统,系统中的树脂间隙、纤维素膜(反渗透膜、超滤、微孔滤膜)表面、水箱和管道死角都是细菌积聚和繁殖的场所;在树脂间隙中或膜面繁殖细菌 的结果,可能导致树脂交换性能的降低和膜结构被破坏,即影响水质,又降低产水量,树脂和膜的使用寿命缩短,运行成本增加,因此,在纯水制取各个环节都必须 采取必要的杀菌措施,以保障整个系统的最终杀菌效果。
超纯水设备的使用时间较长,或者进水水质不合格,都会对管道以及一些设备及部件造成损坏,可能会导致管道的内测附有污染物,这些污染物就会影响出水水质,所以超纯水设备的管道要及时清洗消毒。尤其是超纯水系统的存储(水罐)和外输单元(管道)一旦被微生物污染,将会对整个纯水系统造成严重的二次污染。奥克泰士Oxytech作为一款卓越的高级水处理消毒剂,可以解决超纯水制备中遇到的各类顽固性微生物和生物膜问题。
超纯水设备系统消毒清洗 光伏行业超纯水消毒剂
奥克泰士在水处理方面的优势:
1. 清除生物膜:独特的两相效力和微动作用,令奥克泰士可以轻松清除生物膜,定期使用可有效防止生物膜的后续再次滋生。
2. 广谱杀菌,能够杀灭革兰氏阴性、革兰氏阳性、酵母菌、霉菌、蓝细菌等各种类型微生物,包括寡营养细菌、假单胞菌、罗尔斯通氏菌、洋葱伯克霍尔德菌、硫酸盐还原菌等。
3. 完全溶解于水,能以任何比例与水混合,杀菌作用无盲区、无死角。
4. 良好的材料兼容性,适合滤芯、反渗透膜等各环节的使用。奥克泰士对腐蚀性有着严格控制(基本无腐蚀),有效保障生产设备的良好允许和寿命周期。
5. 剂量可准确控制和测量,可以方便确认使用后的冲洗洁净程度,不影响消毒后的正常制水。
6. 食品级,无色无味无毒,呵护员工职业健康,避免传统消毒方式的职业健康危害。
7. 专业的技术团队、丰富的从业经验,根据现场条件和微生物污染情况提供订制的消毒技术方案


1楼2022-07-13 16:18回复