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显微DIC应变测量技术用于微观尺度半导体材料热学性能测试

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微电子与半导体是一个工艺复杂,精密度极高的行业,任何一个工艺参数的微小偏移,都可能导致良品率降低。由于半导体材料和工艺设备昂贵,产品良率的降低会使企业利润下降,产品交付延期,市场口碑受影响,甚至订单丢失。
XTDIC-Micro显微应变测量系统,光学显微镜与数字图像相关法(DIC)的结合,通过算法和图像校正技术避免漂移和失真,获取光学显微镜中试样变形的准确测量值,可以满足芯片半导体微小材料和结构变形测量需求。
热学应用——应变测量
电路元件集成度的不断提高,导致芯片的发热功率也随之增加。由于非均匀交变温度场的存在和元件组成部分间热膨胀系数的不同,导致产品内部产生热应力及应力集中问题,热应变测量可提升电路可靠性。
热学应用——翘曲测量
芯片基板由多层复合材料组成,各类材料热膨胀系数不同,在温度变化过程中,由于芯片封装层叠结构及材料热膨胀系数不匹配,高温下封装翘曲、表面贴装集成电路会产生翘曲现象,测量翘曲参数对于封装结构设计及材料选型具有重要意义。
热学应用——CTE测量
CTE(膨胀系数)是直接体现电路板性能的参数之一。由于PCB基板和焊接到PCB上的硅芯片存在膨胀率差异,当PCB和芯片同时受热,PCB膨胀更剧烈,会导致焊点从芯片上脱落,对于PCB板在不同温度下微小位移和应变测试可提升产品良率和可靠性。
元器件热变形测量

PCB板高低温热膨胀测试

芯片截面的面内应变



IP属地:陕西1楼2022-10-18 15:53回复