1）晶圆末端执行器一般质量较轻，有效减轻设备的负担，能有效提升设备的使用寿命。
2）导热率低，抗热冲击、热摩擦的性能优异，能耐受高温，高温形态稳定。
3）优良的低摩擦系数，防静电，耐磨损性强。
4）耐腐蚀，惰性，不易跟其他物质化合，具有很高的化学稳定性。
5）绝缘稳定性，具有良好的电绝缘性能，并保持到很高的温度范围。其介电损耗也很小。