S-2210强脉冲光系统
应用
· 半导体晶圆处理
· 印刷电子烧结
· 快速退火
系统亮点
· 输出能量峰值:：18kJ
· 触控屏幕操作界面
· 脉冲宽度范围：100-5000us
· 提供大照射面积灯管选项
· 150 x 150 mm – 型号 LH-150
150 x 300 mm – 型号 LH-320
· 均匀度97%以上
整体概述
S-2210脉冲光系统设计用于使用高强度脉冲光处理大面积区域，以满足需要高均匀性的应用。该系统结构紧凑，可通过集成多个机架来扩展更大的区域或更高的吞吐量。在环境温度下，脉冲光光子照射可显著提高使用传统制程无法实现的加工速度