248nm的膜层，相较于193nm，更不容易损坏！
对于灰尘来说，用干燥(无油)的氮气在压力下吹过表面是最好的。从液氮罐中煮沸的液体最不可能有污染物。
如果需要溶剂，请先使用试剂级IPA(异丙醇)，将晶状体组织折叠成垫，用适当的止血钳夹住饱和，然后摇掉多余的(这样就不会太湿)，用最小的压力擦拭表面。甲醇也可以尝试，但更激进，所以在最边缘尝试，以检查潜在的溶剂相关的损害。
如果在以上都没有或者条件不够的情况下，用无水酒精吧！