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1.同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm;
2.摆角误差3μrad;
3.最大负载100kg;
3.电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上;
4.使用圆光栅闭环反馈,分辨率优于0.01arc sec;
5.产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。#晶圆加工##晶圆检测##轮廓测量#
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