光刻抗反射涂层krf的能用i线爆开吗【半导体吧】_百度贴吧

08月03日漏签0天

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光刻抗反射涂层krf的能用i线爆开吗

只看楼主收藏回复

有一道工艺需要用到barc可是机型是XT400
i线的光刻机，厂商的barc是krf用的，有谁试过没，可以爆开吗。

送TA礼物

IP属地:湖北

来自Android客户端1楼2024-05-27 19:16回复

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