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进展

https://m.toutiao.com/is/i6v6tfXa/ - 极目新闻：华科大院士团队成果实现转化，国内首套超精密主动减振器面世 - 今日头条


牛逼


不懂，但支持国产


太牛了，涉及广


不太清楚


好像半导体制造设备会用上这类“超精密主动减震”


这跟龙芯有啥关系？


光刻机的基础要用到这东西


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