金刚石减薄机的工作原理基于晶圆自旋和金刚石砂轮的磨削作用。在加工过程中，晶圆被粘接到减薄膜上，并通过真空吸附固定到多孔陶瓷承片台上。随后，金刚石砂轮以极低速进给方式，与晶圆表面接触并进行磨削。通过调整砂轮的位置和转速，以及晶圆的转速，可以实现晶圆厚度的精确控制。

（金刚石减薄机）

（硬性材料减薄后的效果）

（硬性材料减薄后的效果）