多查查上市公司消息不就知道了?
永新光学业绩报告会议纪要里,明确说“虽然28纳米光刻设备到了量产阶段即产学研用的“用”阶段,但从量产到成熟还有过程,不过光刻的国产替代大方向确定,H厂商牵头会加快进度。”
美埃集团说“美埃为开发国内首台28nm光刻设备的上海微电子装备(集团)股份有限公司所需的光刻机机台内国际最高等级洁净环境(ISO Class 1 级)提供产品,亦已验收合格,助力国内光刻机事业”
茂莱光学说“在GKJ领域,和上海微合作多年,提供GKJ照明系统和物镜系统中的整套元器件、双工件台的移动控制和精准对齐距离测量系统,几乎涵盖了GKJ中除光源之外的所有核心器件。以i线光刻机为例,公司能提供产品的价值量为600-800万/台GKJ,对于更先进的krf、arf GKJ,单台价值量至少提高50%。中国大陆每年新增GKJ需求约为60亿欧元,茂莱可供应产品约占价值量的15-20%,对应每年60-70亿元增量市场”